附件99.1
Amtech Systems，Inc.
2022年股权激励计划
1.目的。Amtech Systems，Inc.2022年股权激励计划(“计划”)的目的是使公司及其任何关联公司能够吸引、留住和激励其高级管理人员和其他关键员工，并通过提供或增加该等人员在公司的所有权权益，进一步使该等人员的利益与公司股东的利益保持一致，从而促进公司的长期业务成功。
2.定义。在本计划中，将适用以下定义。
(A)“联属公司”指作为本公司附属公司的任何实体，或本公司直接或间接拥有该实体的投票证券合共投票权至少50%的任何其他实体，并由委员会指定为本计划涵盖的实体。
(B)“协议”是指书面或电子协议、通知或其他文件，其中包含适用于根据本计划授予的每项裁决的条款和条件，包括对其进行的所有修订。协议受制于本计划的条款和条件。
(C)“奖励”是指根据本计划以期权、股票增值权、限制性股票、股票单位或其他以股票为基础的奖励的形式给予的奖励。
(D)“董事会”是指公司的董事会。
(E)除非参与者与公司或任何关联公司之间当时生效的书面协议(包括协议)中另有规定，否则“原因”是指参与者(I)未能令人满意地履行公司对参与者的合理要求的职责(残疾原因除外)；(Ii)严重违反任何法律、规则、法规、法院命令或监管指令(交通违规、轻罪或其他轻微违法行为除外)；(Iii)重大违反本公司的业务行为或道德守则，或违反任何受信责任或欠本公司或任何联营公司的保密、不招揽、竞业禁止或类似义务；(Iv)从事任何涉及参与者个人不诚实的行为或行为，或显示故意及持续漠视本公司及其联营公司的最佳利益；或(V)从事可合理预期会损害本公司或其任何联属公司、其业务或其任何客户、雇员或供应商的名誉或声誉的不名誉或破坏性行为、惯例或行为。
(F)“控制变更”是指发生下列情况之一：
(1)《交易法》个人成为本公司证券的实益拥有人(在《交易法》第13d-3条的含义内)，该等证券占本公司当时已发行的表决证券的总投票权的50%或以上，但下列情况不会构成控制权的变更：
(A)交易所法令人士为向本公司提供融资而向本公司收购本公司的证券；
(B)自本计划生效之日起，由本公司投票证券的实益所有人组成的任何集团；
(C)公司对其表决证券的任何回购或其他收购，导致任何交易法人士成为公司表决证券50%或以上的实益拥有人；或
(D)就任何特定参与者而言，该参与者、包括该参与者的任何集团、或由该参与者控制的任何实体或包括该参与者的集团对本公司证券的任何收购。
然而，如果上文第(A)、(B)或(C)款所述的交易所法案个人或集团在最初通过上述条款所述方式之一成为公司投票权证券合并投票权的50%或以上的实益拥有人之后，获得额外公司投票权证券的实益所有权，则控制权的变更将被视为已经发生。此外，只有在公司交易本身是根据第2(F)(3)款规定的控制权变更的情况下，如果某人因公司交易而成为公司投票证券50%以上的实益拥有人，控制权的变更才会发生。
(2)留任董事的个人因任何理由不再占董事局成员的过半数。
(3)公司交易即告完成，除非紧接该公司交易后，在紧接该公司交易前为本公司投票权证券实益拥有人的全部或几乎所有个人及实体直接或间接实益拥有该公司交易所产生的尚存或收购实体(包括透过该实体的任何母公司的实益拥有权)当时尚存的投票权证券的合共投票权的50%以上，其比例与紧接该等公司交易前彼等拥有本公司投票权证券的比例大致相同。
尽管如上所述，根据守则第409A条的规定，任何裁决构成赔偿延期，并且如果该裁决规定在控制权变更时更改支付时间或支付方式，则控制权的变更不应被视为在本第2(F)条所述事件发生时发生，除非该事件也构成根据守则第409A条对本公司大部分资产的所有权或实际控制权的变更或所有权的变更。
(G)“税法”系指经修订并不时生效的1986年国税法。就本计划而言，对《守则》各节的提及应被视为包括其下的任何适用法规以及任何后续或类似的法定规定。
(H)“委员会”指董事会根据第3节指定执行计划的两名或以上非雇员董事，每名成员应为(I)适用证券交易所规则及规例所指的独立董事及(Ii)交易所法令第16b-3条所指的非雇员董事。
(I)“公司”指亚利桑那州的Amtech Systems，Inc.及其任何继承者。
(J)“留任董事”指(1)于本计划生效日期为本公司董事的个人，或(2)于本计划生效日期后成为本公司董事的个人，而其首次选举或提名由当时留任的董事至少以过半数通过的，但就本条第(Ii)款而言，不包括其首次就职是由于实际的或威胁的委托书竞争而产生的个人
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由董事会以外的个人或团体征求委托书或同意，或由于旨在避免或解决实际的或受威胁的委托书争议的协议。
(K)“公司交易”指(I)出售或以其他方式处置本公司全部或实质所有资产，或(Ii)涉及本公司的合并、综合、换股或类似交易，不论本公司是否尚存实体。
(L)“残疾”是指(A)公司或其关联公司承保参与者的任何长期残疾计划或政策下的任何永久和完全残疾，或(B)如果没有此类长期残疾计划或政策，则为守则第22(E)(3)条所指的“完全和永久残疾”。
(M)“雇员”指本公司或联属公司的雇员。
(N)“交易法”系指经修订并不时生效的1934年证券交易法。
(O)“交易所法人士”指任何自然人、实体或集团，但不包括(I)本公司或任何联属公司；(Ii)由本公司或任何联属公司发起或维持的任何雇员福利计划(或相关信托)；(Iii)临时持有与该等证券的注册公开发售相关的证券的承销商；或(Iv)其表决证券由本公司表决证券的实益拥有人实益拥有的实体，其比例与其实益拥有本公司的表决证券的比例大致相同。
(P)“公平市价”系指按下列方式确定的股份的公平市价：
(1)如果股票可随时在现有证券市场交易(根据守则第409A条确定)，则公平市价将是股票在被确定的日期在其交易的主要证券市场上的收盘价，如果在该日期没有股票出售，则在华尔街日报或委员会认为可靠的其他来源所报道的下一个发生股票出售的日期；或
(2)如该等股份当时并不能在既定证券市场(如守则第409A条所述)轻易买卖，则公平市价将由委员会在合理应用符合守则第409A条规定的合理估值方法后厘定。
(Q)“全额奖励”指期权奖励或股票增值权奖励以外的奖励。
(R)“授予日期”是指委员会根据本计划批准授予奖项的日期，或委员会规定的较晚日期。
(S)“集团”指为收购、持有、投票或处置本公司证券而以合伙、有限合伙、辛迪加或其他集团形式行事或同意共同行事的两名或以上人士。
(T)“非雇员董事”指非雇员的董事会成员。
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(U)“选择权”是指根据本计划授予的以特定价格购买特定数量股票的权利。“激励性股票期权”或“ISO”是指根据规范第422节的要求指定并授予的任何期权。“非限定股票期权”或“非合格股票期权”是指激励股票期权以外的期权。
(V)“其他基于股票的奖励”是指本计划第11节所述的奖励。
(W)“母公司”系指守则第424(E)节所界定的“母公司”。
(X)“参与者”是指根据本计划获得当时尚未获奖的服务提供商。
(Y)“计划”是指本Amtech Systems，Inc.2022股权激励计划，经不时修订并生效。
(Z)“前期计划”是指Amtech Systems，Inc.的2007年员工股票激励计划和非员工董事股票期权计划。
(Aa)“裁员”指由本公司全权酌情决定的有效裁员、裁员、设施关闭、重组或合并。
(Bb)“限制性股票”是指向参与者发行的、受本计划和适用协议可能规定的转让、归属条件和其他限制或限制的限制的股票。
(Cc)“退休”是指参与者根据公司采用的退休金或退休计划，或在65岁或之后，因其他原因终止其服务。
(Dd)“服务”是指参与者以任何服务提供商的身份向公司或任何关联公司提供服务。服务提供商的服务在实际停止向公司或任何关联公司提供服务时或在服务提供商向其提供服务的实体不再是关联公司时被视为终止。除本计划或任何协议另有规定外，在下列情况下，服务不应被视为终止：(I)任何批准的休假；(Ii)在公司和任何关联公司之间以任何服务提供商的身份进行转移；或(Iii)只要个人仍以任何服务提供商的身份在公司或任何关联公司服务，则服务不应被视为终止。
(Ee)“服务提供者”是指董事的雇员或非雇员。
(Ff)“股份”是指股份。
(Gg)“股票”是指公司的普通股，每股面值0.01美元。
(Hh)“股票增值权”或“股票增值权”是指在香港特别行政区授予股票之日至其行使之日之间，以现金和/或股票形式获得相当于特定数量股票增值的数额的权利。
(Ii)“股票单位”指以现金及/或委员会厘定的股份公平市价收取股份的权利，但须受本计划及适用协议所载的转让限制、归属条件及其他限制或限制所规限。
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(Jj)“附属公司”系指“公司守则”第424(F)节所界定的“附属公司”。
(Kk)“替代奖”指由本公司或任何联营公司收购或与本公司或任何联属公司合并的公司或其他实体授予的未完成奖励，或替代或交换该公司或其他实体授予的未完成奖励。替代裁决的条款和条件可能不同于《计划》中规定的条款和条件，只要委员会在授予时认为适当，以完全或部分符合已授予的替代裁决的规定。
(Ll)实体的“表决权证券”是指一般有权在该实体的董事选举中投票的未偿还股本证券(或可比股权)。
3.计划的管理。
(A)行政管理。根据本第3条，委员会有权控制和管理本计划的运作和行政管理。
(B)权限范围。在符合本计划条款的情况下，委员会有权酌情采取其认为必要或适宜的行动来管理本计划，包括：
(1)决定获奖的服务提供者、每次获奖的时间、获奖的类型和股份数目、获奖的条款、条件、表现标准、限制和其他规定，以及获奖的支付或结算方式；
(2)除第15(D)和15(E)条的规定外，取消或暂停奖励，加速授予或延长奖励的行使期限，或以其他方式修改悬而未决的奖励的条款和条件；
(3)通过适用于奖励的子计划或特别规定，制定、修订或废除管理计划的规则，解释计划与任何裁决或协议，协调计划或协议中的任何不一致，纠正计划或任何协议中的任何缺陷或提供遗漏，并作出管理计划所必需或适宜的其他决定；
(四)颁发本计划的替代奖；
(5)对外国服务提供者采取第3(C)款规定的行动；
(6)要求或允许推迟裁决的解决，并确定任何此类推迟的条款和条件。
尽管有上述规定，董事会应履行委员会对非雇员董事的奖励的职责和责任。
(C)对外国服务提供者的奖励。委员会可以将奖项授予服务提供者，他们是外国人，位于美国境外，或未从在美国维持的工资单中获得补偿，或以其他方式受到(或可能导致
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公司须遵守)美国以外国家的法律或法规要求，遵守委员会认为为遵守适用的外国法律和法规要求以及促进实现计划目标所必需或适宜的条款和条件，而这些条款和条件不同于计划指定的条款和条件。与此相关，委员会可制定此类次级计划，并在认为必要或适宜的范围内修改行使程序和其他计划规则和程序，并可采取其认为可取的任何其他行动，以获得当地监管批准或遵守任何必要的地方政府监管豁免。
(D)委员会的行为；授权。委员会任何一次会议的法定人数为委员会成员的过半数，出席任何会议的成员过半数的任何行为，或委员会全体成员以书面一致通过的任何行为，均为委员会的行为。委员会的任何此类行动均应有效，即使在采取此类行动时，一名或多名委员会成员后来被认定不符合第2(H)节第(I)和(Ii)款中的所有成员资格标准，也是如此。在不抵触适用法律或证券交易所规则的情况下，委员会可将本计划下的全部或任何部分权力授予任何一名或多名成员，或将奖励授予不受交易所法案第16条约束的参与者、授予一名或多名本公司董事或高管或由一名或多名本公司董事组成的董事会委员会。委员会还可将与该计划有关的非酌情行政责任委托给它认为适当的其他人。
(E)决定的终局性。委员会对本计划、根据本计划作出的任何裁决或协议以及董事会或委员会的所有相关决定或决议的解释是最终的，对所有与此有利害关系的各方都具有约束力。
(F)赔偿。每名现时或曾经是委员会或董事会成员的人士，以及委员会根据计划获转授权力的任何其他人士，应由本公司在法律许可的最大范围内，就该人士因履行该计划下的个人职责而向该人士提出的任何申索或因向该人士提出的任何申索而承担或合理招致的债务及开支作出弥偿。获得赔偿的权利的条件是该人向公司提供机会，由公司承担费用，在该人承诺代表该人处理和抗辩之前，处理和抗辩索赔。除非公司事先书面同意和解，否则公司不会被要求赔偿任何人为解决索赔而支付的任何金额。上述弥偿权利不排除该人士或该等人士根据本公司的公司注册证书或附例、法律事宜或其他事宜而有权享有的任何其他弥偿权利。
4.该计划下可提供的共享。
(A)最高可用股份数。除第4(B)节及第12(A)节所规定的调整外，根据本计划可获奖励的股份数目应为1,000,000股。在本计划生效日期后，不能再根据先前计划给予其他奖励。根据该计划发行的股份可以是本公司重新收购的股份，包括在公开市场上购买的股份，也可以是授权但未发行的股份。在确定与任何奖励有关的股份储备中应计入的股份数量时，应适用以下规则：
(1)股份须计算在股份储备内，作为每批出一股股份。
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(2)凡在授予日期受奖励所规限的股份数目是可变的，则须从股份储备计算的股份数目须为根据该特定奖励可收取的最高股份数目，直至可决定只可收取较少数目的股份为止。
(3)受替代奖赏规限的股份不得计入股份储备，亦不得减少在任何公历年内获授权授予参与者的股份。
(4)可只以现金支付的奖励，不得计算在股份储备内，亦不得减少在任何公历年内获授权授予参与者的股份。
(B)没收和其他行动的效果。根据本计划须予奖励的任何股份到期、被注销或被没收或以现金结算，在该等注销、没收、到期或现金结算的范围内，将可再次根据本计划获奖励，而第4(A)节项下的股份储备须按下文第4(C)节的规定予以相应补充。然而，根据第4(A)条，以下股份不得再次用于奖励或补充股份储备：(I)参与者为支付根据本计划发行的股票期权的行使价而提交的股份(实际或通过认证)或公司扣留的股份，(Ii)参与者为履行根据本计划授予的任何预扣税款而由参与者投标或扣留的股份，(Iii)公司通过行使根据本计划发行的股票期权所获得的收益回购的股份，和(4)根据本计划发行的股票增值权奖励的股票，但在行使时不是与该奖励的股票结算相关的发行的。
(C)再次清点可用股份。根据第4(B)节的规定，再次可用于奖励的每股股份应相应增加第4(A)节规定的股份公积金，增加的股份比例与适用股份公积金在授予适用奖励时减少的股份比例相同。
(D)被收购公司经营的计划的效力。如本公司或任何联营公司收购或与本公司或任何联营公司合并的公司根据股东批准的先前计划可供配发股份，而该计划并未在考虑该等收购或合并时采纳，则根据该等先前计划的条款(经适当调整，使用该等收购或合并所使用的交换比率或其他调整或估值比率或公式以厘定应付予该等收购或合并的实体的普通股持有人的代价)，可供授予的股份可用于该计划下的奖励，并将补充第4(A)条下的股份储备。在没有收购或合并的情况下，使用该等可用股份的奖励不得在可根据先前计划的条款作出奖励或授予的日期后作出，且只可向在收购或合并前并非雇员或非雇员董事的个人作出。
(E)无零碎股份。除非委员会另有决定，否则接受奖励的股份数目应始终为整数。根据本计划，不得发行零碎股份，但委员会可酌情采用其认为合适的任何四舍五入惯例，或支付现金代替任何零碎股份以达成裁决。
(F)对非雇员董事的奖励限制。任何日历年内授予任何非员工董事的所有奖励(不包括在选举非员工董事时授予的用以代替全部或部分预聘费或应支付费用的任何奖励)的总授予日期公允价值(按照在美国适用的公认会计原则确定的)
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作为非雇员董事的有关个人服务的现金)不得超过250,000美元。
5.敏捷性。参与该计划仅限于服务提供商。激励股票期权只能授予员工。
6.奖项的一般条款。
(A)授标协议。每项奖励应由一份协议证明，该协议规定了奖励的金额以及委员会确定的适用于该奖励的其他条款和条件(且不与本计划相抵触)。如果协议要求参与者接受，则除非公司在协议规定的期限内以委员会允许的方式接受协议，否则协议所证明的奖励将不会生效。对参赛者的奖励可以单独颁发，也可以与任何形式的奖励相结合。两种类型的奖励可以同时进行，使得对若干股票行使一种类型的奖励将受相关奖励的股票数量减少至少同等数额。
(B)归属及期限。每份协议应规定适用的授权书预定授予的期限，以及适用的授予条件和任何适用的履约期(如果适用，期限自授予之日起不得超过十年)，以及适用的归属条件和任何适用的履约期。委员会可在协定中就其决定的归属条件和时间作出规定。除非委员会另有规定，否则在任何无薪休假期间，根据本条例授予的赔偿金的授予将暂停。
(C)可转让性。除第6(C)节所规定外，(I)在参与者的有生之年，只有参与者或参与者的监护人或法定代表人可以行使任何其他奖励的期权或特别提款权，或接受任何其他奖励的付款；以及(Ii)除非根据遗嘱或继承法和分配法，否则不得自愿或非自愿地出售、转让、转让、交换或负担任何奖励。任何违反第(6)(C)款的转让企图均无效。然而，委员会可以在协议或其他方面规定，奖励(奖励股票期权除外)可以根据家庭关系订单转让，也可以通过赠送的方式转让给参与者的任何“家庭成员”(根据1933年《证券法》A.1(A)(5)号一般性指示形成S-8)。受让人持有的任何奖项应继续遵守在紧接转让之前适用于该奖项的相同条款和条件。就本计划中有关通知参与者或在参与者死亡或终止服务时加速或终止奖励的任何规定而言，所提及的“参与者”应指最初的获奖者，而不是任何受让人。
(D)受益人的指定。在委员会允许的范围内，参与者可指定一名或多名受益人行使在参与者去世时或之后可行使或应支付的任何奖励或根据任何奖励接受付款。任何此类指定应采用本公司批准的表格，并在本公司收到后生效。
(E)终止服务。除非参与者与公司之间的适用协议或其他当时有效的书面协议中另有规定，并且在符合本计划第3(B)(2)条和第12条的情况下，如果参与者在公司及其所有附属公司的服务终止，则以下规定应适用(在所有情况下，以期权或SAR奖励的预定期满为准)：
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(1)如因退休、死亡或伤残以外的任何原因或因效力减少而终止服务，所有未行使的选择权及特别行政区奖励及任何其他尚未行使的奖励的所有未归属部分将立即被没收，而不作任何考虑。
(2)在退休服务终止后，期权及特别行政区奖励中目前已归属及可行使的部分可在终止服务日期后九十(90)天内行使，而任何其他尚未支付的奖励的所有未归属部分将立即被没收而不作任何考虑。如参与者其后于上述三个月期间去世，期权及特别行政区奖励的既得及可行使部分可于终止日期后一年内行使。
(3)当服务因死亡或伤残而终止时，期权及特别行政区奖励中目前已归属及可行使的部分，可在服务终止后一年内行使，而任何其他尚未完成的奖励的所有未归属部分，将立即被没收而不作任何考虑。
(4)当服务因效力减少而终止时，期权及特别行政区奖赏中目前已归属及可行使的部分，可在服务终止后九十(90)天内行使，而任何其他未决奖赏的所有未归属部分将立即被没收而不作任何考虑。如参与者其后于上述三个月期间去世，期权及特别行政区奖励的既得及可行使部分可于终止日期后一年内行使。
(F)作为股东的权利。任何参赛者对奖励所涵盖的任何股份均不享有任何股东权利，除非及直至该参赛者成为奖励所涉及的股份(如有)的纪录持有人。
(G)以表现为基础的奖励。如果委员会设立了一项或多项衡量公司、业务单位或个人必须达到的业绩的指标，以及达到指定业绩的业绩期间，作为授予、归属、可行使、取消限制和/或以现金或股票结算的条件，则可将任何奖项作为基于业绩的奖项授予，此类业绩指标可包括但不限于以下一项或多项：现金流、每股收益或每股收益增长、息税摊销前收益，股本回报率、股东总回报率、预订量、股价表现、资本回报率或投资回报率、资产回报率或净资产、营收、收入或净收入、营业收入或净营业收入、营业利润或净营业利润、营业利润率或利润率、营业收入回报率、税前或税后利润水平、收入或收入增长、经济或现金增值、客户满意度调查结果、其他业绩衡量指标、质量、安全、生产率或流程改进、市场份额和无意中听到的或其他费用减少。关于任何此类奖励，委员会应确定已达到的业绩衡量标准和其他适用的条款和条件已得到满足的程度，以及此类奖励的授予、归属、可行使性、限制失效和/或和解已获得的程度。委员会还应有权在协定或其他协议中，规定在下列特定情况下修改业绩期限和/或调整或免除业绩目标的实现情况：(1)发生非常或不寻常或不常见的事件, 如控制权变更、股权重组(如第12(A)节所述)、收购、资产剥离、重组活动、资本重组或资产减记，(Ii)适用税法或会计原则的变更，(Iii)参与者的死亡或残疾，或(Iv)其他非常非经常性项目。
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(H)股息和股息等价物。不会就受购股权或特别行政区奖励的股份支付股息、股息等价物或分派。受限制性股票奖励未归属部分约束的股份的任何应付股息或分派将受到与该等股息或分派相关的股份相同的限制和没收风险。委员会可酌情在股份单位奖励或其他股份奖励的授出协议中规定，参与者将有权根据已发行股份实际宣派及支付的股息，就股份单位奖励或其他股份奖励的单位或其他股份等价物收取股息等价物，而该等股息等价物将受与该等股息等价物有关的单位或其他股份等价物相同的限制及没收风险所规限。任何该等股息等价物的额外条款将载于适用协议，包括支付时间及方式，以及该等股息等价物是否会计入利息或被视为再投资于其他单位或股份等价物。在本计划期限内，由于股息再投资或股息等价物被视为与奖励相关的再投资而发行或可发行的任何股票，应计入本计划第4节规定的本计划的股份储备中，并在随后的任何没收时予以补充。
(I)延期支付全部价值奖励。委员会可酌情允许或要求参与者推迟发行股票或支付现金，以了结任何全额奖励，但须遵守委员会为此目的而制定或规定的条款、条件、规则和程序，并意图遵守守则第409a节的适用要求。任何此类延期的条款、条件、规则和程序应在有关协定或委员会可能决定的其他协定、计划或文件中以书面形式规定。任何该等延期的条款、条件、规则及程序应在相关范围内处理以下事项：(I)可或必须延期的赔偿金额(或计算该金额的方法)；(Ii)容许支付延期金额的时间及形式；(Iii)参与者作出任何延期选择或本公司要求的任何延期的条款及条件；及(Iv)将利息或股息等值计入递延金额。
7.股票期权奖励。
(A)类型和行使价。授予期权奖励的协议应具体说明该期权是激励性股票期权还是非限制性股票期权。受购股权奖励的每股股份的行使价应由委员会决定，并在协议中阐明，且不得低于授出日每股股票的公平市价，但替代奖励的情况除外(在符合守则第409A节的范围内，如属激励性股票期权，则符合守则第424节的规定)。
(B)支付行使价款。行使期权奖励的股份的购买价格应在行使时全额支付。购买价格可以现金或委员会允许的其他方式支付，包括根据经纪人辅助销售和汇款计划支付、扣留在行使购股权时本来可以向参与者发行的股份或向本公司交付参与者已经拥有的股份(在任何一种情况下，该等股份在行使购股权之日的公平市场价值等于正在购买的股份的购买价格)。
(C)可行使性和期满性。每项期权奖励均可按协议规定的条款全部或部分行使。期权奖励在预定期满后的任何时间都不能行使。当期权奖励不再可行使时，应视为终止。
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(D)激励性股票期权。
(1)只有在以下情况下，期权奖励才构成激励股票期权奖励：(1)获得期权奖励的参与者为雇员，且(I)在适用的协议中如此指定，以及(Ii)参与者持有的激励股票期权奖励在任何日历年度(根据本公司及其关联公司的计划和所有其他计划)首次可行使的股份的公平市场总值(于期权奖励授予日期确定)不超过100,000美元或守则规定的其他金额。如果授予参与者的期权奖励超过这一限制，则该期权奖励应视为非合格股票期权奖励。根据本计划行使激励性股票期权奖励时，可发行的最大股票数量应为1,000,000股，可根据第12(A)节的规定进行调整。
(2)任何参与者不得根据本计划获得奖励股票期权奖励，条件是紧接授予奖励后，参与者将拥有(在应用守则第424(D)条所载规则后)拥有超过本公司或联属公司所有类别股票总投票权10%的股份，除非(I)该奖励的每股行权价至少为授予日期股份公平市值的110%，及(Ii)该奖励将于授予日期后不迟于五年届满。
(3)对于已获得股票期权奖励的参与者的继续服务而言，批准的休假不得超过三个月，除非法规或合同规定在此类休假期满后重新就业。如果没有提供再就业，则在休假第一天后六个月的日期，参与者持有的任何激励股票期权将不再被视为激励股票期权，并应为税务目的被视为非合格股票期权。
(4)如果激励性股票期权奖励是在适用于守则第422节的行权期届满后行使的，则该期权此后应被视为非限定股票期权。
(5)涵盖激励性股票期权奖励的协议应包含委员会认为将期权奖励定为激励性股票期权奖励所必需的其他条款和规定。
(E)自动行使非限制性股票期权。委员会可酌情通过按照第3(B)(3)节通过的计划规则，规定在紧接期权到期日(原计划到期日或根据计划或与非因原因终止服务的适用协议有关的期权本应提前到期的日期)交易结束前，已授予和可行使的非限制性股票期权的任何部分仍未行使(“自动行使日期”)。该等期权的全部既得及可行使部分将于自动行使日行使，而不会由获授予该期权的参与者(或根据本计划第6(C)条及任何适用协议转让该期权的一名或多名人士)采取任何进一步行动。根据第7(E)条行使任何期权的总行权价格和任何相关的预扣税将由公司从行使该期权的股份总数中保留若干股票，这些股票在自动行权日的总公平市场价值等于该总行权价格加上适用的预扣税。委员会有权限制或修改本规定对受本计划第3(C)款约束的参与者的适用性。本第7(E)条的任何规定均不得使委员会在任何时候单方面修改或废除任何此类计划规则，任何此类修改或废除均应适用于当时尚未完成的所有期权奖励以及此后授予的期权奖励。
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8.股票增值权奖励。
(A)裁决的性质。股票增值权奖励须受委员会决定的条款及条件所规限，并应使参与者有权在行使特别行政区奖励时，获得(I)行使特别行政区奖励当日的公平市价超过(Ii)该等股份的总行使价格的全部或部分超额收益。任何特别行政区奖励的每股行使价格应由委员会厘定，并载于适用协议内，且不得低于授出日每股股份的公平市价，但替代奖励除外(在符合守则第409A条的范围内)。
(B)特区的行使。每项特区奖励均可按协定所规定的条款及方式，在任何时间全部或部分行使。任何特区奖励在其预定期限届满后不得随时行使。当特区裁决不再可行使时，即视为终止。在行使特别行政区奖励时，应在委员会确定的协议规定的时间或时间以现金、股票或现金和股票的组合形式向参与者支付款项。本协定可规定在行使特别行政区裁决的情况下，可支付(无论是现金和/或股票)的增值总额的数额或百分比的限制。
9.受限的股票奖励。
(A)归属和对价。受限制性股票奖励的股份将根据委员会酌情决定的条件或因素并在委员会酌情决定的时间段内归属和适用限制的失效。委员会可规定本公司或任何联属公司是否必须收取服务以外的任何代价，作为授予限制性股票奖励的先决条件，并可相应地规定公司回购或回购权利，如果需要该等额外代价且未授予部分或全部受限股票奖励。
(B)受限制性股票奖励规限的股份。受限制性股票奖励的未归属股份应以参与者的名义向本公司的转让代理登记账簿或以参与者的名义签发的一张或多张股票证明。任何该等股票须交存本公司或其指定人，连同一份与证书分开的转让书，空白并由参与者签署，并附有适当的图示，说明其所证明的受限制股票的受限制性质。任何入账都应遵守类似的限制和相应的停止转移指示。于限制性股份归属后，且本公司确定已满足解除归属股份前的任何必要条件(例如履行预扣税项义务及遵守适用法律规定)，则该等归属股份应按委员会规定或准许的方式提供予参与者。除本计划或适用协议另有规定外，获得限制性股票奖励的参与者应拥有股东的所有权利，包括对限制性股票股份的投票权。
10.股票单位奖。
(A)归属和对价。股票单位奖励应根据委员会酌情决定的条件或因素，在一段时间内予以授予和适用限制的失效。如果股票单位奖的授予是以实现指定的业绩目标为条件的，则这些目标在指定的
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履约期间应确定将赚取并有资格授予的股票单位数，该数量可能大于或少于协议中规定的目标股票单位数。委员会可规定，公司或任何关联公司是否必须收到服务以外的任何对价，作为解决股票单位奖励的先决条件。
(B)裁决的和解。在授予股票单位奖励后，本公司确定已满足达成奖励之前的任何必要条件(如履行预扣税款义务和遵守适用的法律要求)，则应在委员会决定的时间或时间以现金、股票(其本身可能被视为计划下的受限股票)或现金和股票的组合的形式结算奖励并向参与者支付款项。
11.其他基于股票的奖励。委员会可不时授予股份及其他奖励，而该等股份及其他奖励乃根据本计划以股份作价及/或全部或部分以股份支付。委员会应确定此类奖励的条款和条件，这些条款和条件应与本计划的条款和目的保持一致。委员会可指示本公司发行符合与股份有关的奖励条款及条件的股份，但须遵守限制性图例及/或停止转让指示。
12.资本变更、公司交易、控制权变更。
(A)对资本化变化的调整。如果发生任何导致股票每股价值发生变化的股权重组(FASB ASC主题718所指)，例如股票股息、股票拆分、剥离、配股或通过非常股息进行资本重组，委员会应作出其认为公平和适当的调整，以(I)根据本计划发行或保留发行的股份或其他证券的总数和种类，(Ii)须予发行的股份或其他证券的数目和种类，(Iii)未偿还期权和SARS的行使价，以及(Iv)本计划对某些类型的奖励或授予某些类型的奖励的个人规定的任何最高限制。如果公司资本发生任何其他变化，包括公司合并、合并、重组或部分或全部清算，委员会可作出前述句子中所述的公平调整，以防止稀释或扩大参与者的权利。在任何一种情况下，任何此类调整都应是终局性的，并对本计划的所有目的具有约束力。不得根据本第12(A)条就本公司任何可转换证券的转换作出任何调整，或以会导致奖励股票期权违反守则第422(B)条或导致奖励根据守则第409a条承担不利税务后果的方式作出任何调整。为免生疑问，未完成奖励的存在不应以任何方式影响公司或其股东对公司资本结构或其业务进行或授权任何或所有调整、资本重组、重组、交换或其他改变的权利或权力, 或本公司的任何合并或合并，或任何股份或其他证券的发行或认购权，或在本公司的股份或其他证券或其权利之前或影响其权利的任何债券、债权证、优先股或优先股的发行，或本公司的解散或清盘，或其全部或任何部分资产或业务的任何出售或转让，或任何其他性质类似或其他的公司行为或程序。
(B)公司交易。除非参与者与公司之间的适用协议或其他书面协议另有规定，否则以下规定应适用于涉及公司交易的控制权变更情况下的未偿还奖励。
(1)奖项的延续、承担或更换。在公司交易的情况下，幸存或继承的实体(或其母公司)可以继续、承担或取代奖项
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截至公司交易之日(经第12(A)条要求或允许的调整后)，该等奖励或替代奖励仍未完成，并受下文第12(B)(4)节的规定，受其各自条款的约束。尚存或继承的实体可以选择仅继续、承担或取代部分奖项或部分奖项。就本第12(B)(1)条而言，在与公司交易相关的情况下，并以与《守则》第409a节(如果该奖项为ISO，则为《守则》第424节)一致的方式，下列情况之一，即：(I)尚存实体或继承者实体(或其母公司)明确承担了该奖项所代表的合同义务，并对受该奖项约束的证券的数量和类型及其行使价格进行了适当调整，以保持该奖项在公司交易时存在的内在价值，则该奖项应被视为已承担或被取代，或(Ii)参与者已获得基于股权的可比奖励，该奖励保留了奖励在公司交易时存在的内在价值，并包含与奖励基本相似的条款和条件。
(2)加速。如果本计划下的未完成奖励不因公司交易而继续、假定或替换，则(I)所有未完成期权和SAR奖励应在公司交易生效前委员会认为公平和公平的一段时间内完全归属并可行使，并应在公司交易生效时终止，(Ii)所有未完成的全额奖励应在紧接公司交易有效时间之前完全授予，以及(Iii)任何奖励的授予取决于特定业绩目标的满足，就本第12(B)(2)条而言，如果绩效目标被认为已在目标绩效水平上实现，且该绩效水平上的获得性奖励部分与截至公司交易生效时间的绩效期间已过去的部分成比例，则此类奖励应被视为“完全归属”。委员会应向所有受影响的参与者提供关于期权和特别行政区奖励加速行使期限的书面通知。按照本条款第12(B)(2)条的规定加速可行使性的任何期权或特别行政区奖励的行使应以公司交易完成为条件，并仅在紧接完成交易之前生效。
(3)奖金支付。如果在与公司交易相关的情况下，本计划下的未支付奖励不被继续、假定或替换，则委员会可规定，部分或全部此类未支付奖励应在公司交易生效时间或之前取消，以换取第12(B)(3)条规定向持有人支付的款项。就本第12条第(B)款第(3)款而言，委员会不需要对所有奖项一视同仁。任何被取消奖励的支付金额应等于以下两者之间的差额(如有)：(I)在公司交易中应就奖励股份数目收取的代价的公平市价(由委员会真诚厘定)与(Ii)奖励股份的总行使价格(如有)之间的差额。如果根据前一句话确定的金额不是任何奖励的正数，则可以根据第12(B)(3)条取消该奖励，而不向受影响的参与者支付任何形式的款项。对于其归属取决于特定业绩目标是否满足的奖励，就本第12(B)(3)条而言，受该奖励约束的股票数量应为该奖励在第12(B)(2)条中被视为“完全归属”的股票数量。根据本条第12(B)(3)条支付的任何款项，应按委员会酌情决定的形式、条款和条件支付，这些条件可能与适用于向公司股东支付与公司交易有关的款项的形式、条款和条件相同，也可能不同，委员会可以酌情决定, 包括将此类付款置于与被取消的奖励相当的归属条件下，将此类付款置于与公司交易中强加给公司股东的条款相当的托管或扣留条款下，或计算和支付否则将受托管或扣留条款约束的付款的现值。
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(4)公司交易后的终止。如果在第12(B)(1)节所述的情况下继续、假定或替换奖励，并且如果参与者在公司交易后12个月内因非原因非自愿终止服务，则(I)尚未完全可行使的发给参与者的尚未完全行使的期权和搜救奖励应立即全部行使，并在参与者终止雇佣后一年内继续行使。以及(Ii)尚未完全归属的任何全额价值奖励应立即全额归属(按第12(B)(2)条的规定确定的基于绩效的奖励应全部归属，但比例归属金额将根据参与者作为服务提供商的绩效期间确定)。
(C)控制权的其他变化。在控制权变更不涉及公司交易的情况下，委员会可酌情对未完成的奖励采取其认为适当的行动，其中可能包括：(I)规定取消任何奖励，以换取与第12(B)(3)条规定的方式类似的付款；或(Ii)对当时未完成的奖励进行委员会认为适当的调整，以反映控制权的这种变化，其中可能包括加速全部或部分归属。在这种情况下，委员会将不需要以同样的方式对待所有奖项，并可在任何奖励协议中加入其认为公平和符合公司最佳利益的进一步条款和限制。
(D)解散或清盘。除适用协议另有规定外，如本公司拟解散或清盘，委员会将根据所有适用法律及法规，在该拟议交易生效日期前，尽快通知各参与方。奖励将在该提议的行动完成之前立即终止。
(E)降落伞付款限额。
(1)即使本计划或任何其他计划、安排或协议另有相反规定，如本公司或其联属公司根据本计划的条款或为参与者的利益而提供或将提供的任何付款或利益(“备保付款”)构成守则第280G条所指的降落伞付款(“降落伞付款”)，并将：但就本第12(E)条(或其任何后续条款)征收的消费税或州或地方法律征收的任何类似税项以及与该等税项有关的任何利息或罚款(统称为“消费税”)而言，所涵盖的款项应支付(I)全额或(Ii)减至确保所涵盖款项的任何部分均不须缴纳消费税所需的最低限度，以上第(I)款或第(Ii)款中的哪一款导致参与者在考虑到适用的联邦、州、地方和外国所得税、就业税和消费税(包括消费税)后，在税后基础上收到最大金额的付款和福利。
(2)任何此类削减应根据《守则》第409a节和以下规定进行：(I)不构成《守则》第409a节规定的递延补偿的承保付款应首先减少；(Ii)作为现金付款的承保付款应在非现金付款之前减少，在较晚付款日期支付的承保付款应在较早付款日期付款之前减少。
(3)尽管最初适用第12(E)条，但如果国税局认定任何承保付款构成“超额降落伞付款”(如守则第280G(B)条所定义)，则将根据国税局的决定重新适用第12(E)条，并要求参与者迅速偿还为避免征收消费税所需的承保付款部分以及适用联邦利率的利息
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(如守则第7872(F)(2)(A)条所界定)自参与者收到多付款项之日起至还款之日止)。
(4)本第12(E)条规定的任何决定须由紧接控制权变更前为本公司独立核数师的会计师事务所(“会计师”)真诚地以书面作出，会计师事务所应本公司或参与者的要求向本公司及参与者提供详细的支持性计算。公司和参与者应向会计师提供会计师合理要求的信息和文件，以便根据本第12(E)条作出决定。本公司应负责会计师的所有费用和开支。
13.计划参与和服务提供商状态。作为服务提供商的身份不应被解释为承诺将根据本计划向该服务提供商或一般合格的服务提供商颁发任何奖励。本计划或任何协议或相关文件中的任何内容均不得赋予任何服务提供商或参与者在公司或任何关联公司继续提供服务的权利，也不得以任何方式干预或限制公司或任何关联公司在任何时间终止此人服务的任何权利，不论是否有原因或改变此人的薪酬、其他福利、工作责任或头衔。
14.税收代扣代缴。本公司或任何联属公司(视情况而定)有权(I)从根据本计划支付的任何现金或欠参与者的任何其他补偿中扣留足以支付与授予、归属、行使或结算奖励有关的任何所需预扣税款的金额，以及(Ii)要求根据本计划获得股份的参与者或其他人士在实际收到该等股票之前支付足以支付任何所需预扣税款的现金金额。委员会可授权本公司扣留根据奖励本应交付予参与者的若干股份，或将参与者已拥有的股份转让予本公司，以履行全部或任何部分所需预扣税款(但不得超过每个适用司法管辖区的最高个别法定税率)的全部或部分现金支付，或将参与者已拥有的股份转让予本公司，而如此扣缴或交付的股份在须预扣税款当日的公平市价与预扣税款相等。
15.本计划的生效日期、期限、修改和终止。
(A)生效日期。本计划自公司股东批准之日起生效，根据《财务条例》第1.422-2(B)(2)(I)款，该日应视为通过之日。在本计划生效日期之前，不得根据本计划作出任何奖励。
(B)计划的期限。本计划将继续有效，直至所有受其约束的股份均已分发、所有奖励均已到期或终止、本计划根据第15(C)条终止、或本计划生效日期十周年(以较早发生者为准)(“终止日期”)。除非适用的协议另有规定，否则在终止日期前作出的裁决应继续按照其条款和本计划的条款未予执行。
(C)该计划的修订及终止。董事会可随时终止、暂停或修订该计划。本公司应仅在适用法律或法规或股票可能上市的任何证券交易所的规则要求的范围内，向其股东提交对该计划的任何修订以供批准。未经参与者同意，计划的终止、暂停或修改不得实质性损害任何参与者在以前授予的奖励下的权利，除非此类行动是遵守适用法律或证券交易所规则所必需的。
(D)裁决的修订。在第15(E)节的约束下，委员会可以单方面修改任何证明以前授予的奖励的协议条款，但未经参与者同意，此类修改不得实质性损害任何参与者在适用奖励下的权利，除非此类修改是遵守适用法律或证券交易所规则或第16(I)节规定的任何补偿追回政策所必需的。
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(E)没有期权或特别行政区重新定价。除第12(A)节规定外，根据本计划授予的任何期权或股票增值权奖励不得(I)修改以降低其行使价格，(Ii)与授予任何新的行使价格较低的期权或股票增值权奖励一起取消，(Iii)在期权或股票增值权奖励的每股行使价格大于股票当前公平市场价值时，取消现金、其他财产或授予任何全额奖励，或(Iv)在其他方面受到根据会计规则将被视为对该期权或股票增值权奖励的“重新定价”的任何行动的约束，除非该行动首先得到本公司股东的批准。
16.其他规定。
(A)资金不足的计划。该计划应是无资金的，公司不应被要求分离任何可能在任何时候由该计划下的奖励所代表的资产。本公司、其联属公司、委员会或董事会均不得被视为根据本计划须支付的任何金额的受托人，本计划所载任何内容或根据其条文采取的任何行动均不得在本公司及/或其联属公司与参与者之间建立或解释为信托关系。在任何人有权或获得与本计划下的奖励相关的付款的范围内，这项权利不得大于本公司的无担保普通债权人的权利。
(B)责任限额。除法律另有规定外，本公司或任何董事会或委员会成员，或参与(包括根据计划第3(C)条授权参与)任何计划下任何问题的任何决定，或参与计划的解释、管理或应用的任何其他人士，概不就根据计划真诚地采取或不真诚采取的任何行动对任何一方承担任何责任。
(C)遵守适用的法律要求和公司政策。除非股票发行符合所有适用的法律要求，包括符合适用的州和联邦证券法的规定，以及公司股票当时可能在其上上市的任何证券交易所的要求，否则不得根据本计划发行和交付任何股票。在本计划下的股票发行和发行没有根据联邦或州证券法进行登记的任何期间，参与者应承认他们根据本计划购买的股票是出于投资目的，而不是为了转售，并且除非根据此类证券法的有效登记声明或豁免登记要求，否则不得转让股份。根据本计划发行的受证券法限制的股票或记账凭证，应附有适当的限制性说明或停止转让指示。尽管本计划有任何其他规定，根据本计划收购、持有或处置的股份在任何情况下都应遵守不时生效的适用公司政策，包括但不限于Amtech Systems，Inc.的内幕交易政策，以及与内幕交易、质押或套期保值交易有关的公司任何其他适用政策，以及第16(I)条规定的最短归属后持有期和股权指导方针，以及没收或追回补偿。
(D)其他福利和补偿方案。参与者根据根据本计划作出的奖励获得的付款和其他福利，不应被视为参与者因任何国家的解雇、赔偿或遣散费法律而获得的定期经常性补偿的一部分。
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本公司或联营公司提供的任何其他员工福利计划、合同或类似安排，除非该等其他计划、合同或安排明文规定，或除非委员会明确决定应包括奖励或奖励的一部分，以准确反映竞争性薪酬做法或承认已作出奖励以代替部分竞争性现金薪酬，否则该奖励不得包括在本公司或联属公司提供的任何其他员工福利计划、合同或类似安排下的福利厘定中，亦不得对该等福利的厘定有任何影响。
(五)依法治国。在联邦法律不以其他方式控制的范围内，本计划以及根据本计划作出的所有决定和采取的行动应受亚利桑那州法律管辖，而不考虑其法律冲突原则，并应据此进行解释。委员会可规定，有关任何裁决的任何争议应在委员会指定的论坛上提出和裁定，包括通过有约束力的仲裁。本计划或证明任何裁决的协议或其他文件中对法律条款或规则或法规的任何提及，应被视为包括任何具有类似效力或适用性的继承法、规则或法规。
(F)可分割性。如果本计划的任何条款因任何原因被认定为非法或无效，则该非法或无效不应影响本计划的其余部分，并且本计划应被视为未包括非法或无效的条款来解释和执行。
(G)《守则》第409A条。本计划旨在：(I)本计划下的所有期权、SARS和限制性股票奖励将不会提供守则第409a节所指的延期补偿，因此不受守则第409a条的约束，以及(Ii)本计划下的所有其他奖励将不会规定守则第409a条所指的延迟补偿，或将遵守守则第409a条的要求，奖励的结构以及计划的管理和解释应符合此意图。本计划及任何协议可由本公司以委员会或董事会认为必要或适宜的任何方式单方面修订，以维持该等豁免或遵守守则第409A条，而任何该等修订须最终推定为遵守适用法律所需。尽管本计划或任何协议中有任何相反的规定，对于构成赔偿延期的任何裁决，受规范第409a条的约束：
(1)如果在服务终止时根据该裁决应支付任何金额，服务终止将被视为只有在参与者经历了为守则第409a节的目的而定义的“离职”时才被视为已终止；
(2)如果参赛者是守则第409a条所指的“指定雇员”时，因参赛者“离职”而须支付任何款项，则除守则第409a节所允许外，不得于(I)参赛者离职后六个月或(Ii)参赛者去世后六个月的日期后的第一个营业日之前支付任何款项。除非委员会通过了守则第409a节所设想的特定雇员识别政策，否则将根据守则第409a节规定的默认规定识别特定雇员的身份。
本公司、董事会、委员会或参与本计划管理的任何其他人员均不(I)以任何方式负责确保任何奖励免除或任何奖励遵守守则第409a条的要求，(Ii)有任何义务以最大限度地减少参与者的税务责任(包括避免守则第409a条下的任何额外税务责任)的方式设计或管理本计划或根据守则授予的奖励，并且(Iii)对任何参与者负有任何此类税务责任。
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(H)规则第16B-3条。本计划和根据该计划授予的所有奖励应由委员会管理，以使该计划和奖励符合《交易法》第16b-3条的规定。如果本计划或任何裁决的任何规定会以其他方式妨碍或抵触本第16(H)条所表达的意图，则该规定应尽可能以委员会确定的方式进行解释和视为修正，以避免冲突。在与这一意图存在任何剩余的不可调和的冲突的情况下，在法律允许的范围内，以委员会认为适宜的方式，该条款应被视为无效，适用于符合《交易所法》第16条的参与者。
(I)没收和追讨赔偿。尽管本协议有任何相反规定，除非委员会另有决定或奖励协议另有规定，否则根据本计划授予的所有奖励应并继续受董事会可能采纳或适用法律可能要求的任何现行奖励薪酬或追回或补偿政策的约束，以及在每种情况下可能不时修订的奖励薪酬或追回或补偿政策。在任何情况下，此类政策、采用或修订均不得要求任何参与者事先同意，委员会可单方面修改任何授标协议，以遵守任何此类补偿、追回或补偿政策。根据该等追回政策追讨补偿，不会导致根据与本公司或其任何联属公司达成的任何协议，因“充分理由”或“推定终止”(或类似条款)而辞职的权利。
(J)资料私隐。作为获得任何奖励的条件，每个参与者明确和毫不含糊地同意本小节所述的个人数据的收集、使用和转移，如适用，由公司及其附属公司及其附属公司出于执行、管理和管理计划和奖励以及参与者参与计划的唯一目的。为促进此类实施、管理和管理，本公司及其关联公司可能持有参赛者的某些个人信息，包括但不限于参赛者的姓名、家庭住址、电话号码、出生日期、社会保障或保险号码或其他识别号码、工资、国籍、职位、有关该参赛者持有的本公司及其关联公司的任何证券的信息，以及所有奖项的详细信息(“数据”)。除为实施、管理和管理参与者参与计划所需的数据外，公司及其附属公司还可以将数据传输给协助公司实施、管理和管理计划和奖励以及参与者参与计划的任何第三方。数据的接收者可以位于参与者的国家或其他地方，参与者的国家和任何给定接收者的国家可能有不同的数据隐私法和保护措施。通过接受奖励，每个参与者授权该获奖者以电子或其他形式接收、拥有、使用、保留和传输数据，以协助公司实施、管理和管理该计划和奖励以及该参与者参与该计划, 包括向本公司或参与者可选择存入任何股票的经纪或其他第三方可能需要的任何必要的数据转移。只有在实施、管理和管理计划和奖励以及参与者参与计划所需的时间内，才会保存与参与者相关的数据。参与者可随时查看公司持有的有关该参与者的数据，要求提供有关该参与者的数据存储和处理的附加信息，建议对该参与者的数据进行任何必要的更正，或在任何情况下通过联系其当地人力资源代表免费拒绝或撤回本协议的书面同意。公司可以取消参与者参与本计划的资格，如果参与者拒绝或撤回本计划中所述的同意，则委员会可以酌情决定参与者可以丧失任何未完成的奖励。有关拒绝同意或撤回同意的后果的更多信息，与会者可与当地人力资源代表联系。
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