附件23.1

独立注册会计师事务所的同意

我们同意将Amtech Systems，Inc.截至2021年9月30日和2020年9月30日的合并财务报表，以及截至2021年9月30日的三个年度的每一年的合并财务报表，通过引用的方式纳入我们于2021年11月17日的报告的S-8表格注册声明中，并包括在其截至2021年9月30日的10-K表格年度报告中。

迈耶·霍夫曼·麦肯P.C.

亚利桑那州凤凰城

March 25, 2022