附件21.1

注册人的子公司

子公司

成立为法团的司法管辖权

Atotech制造公司

特拉华州

北京纽波特光谱物理技术有限公司。

中国

电子科学工业欧洲有限公司

英国

电子科学工业股份有限公司

德国

电子科学工业新加坡私人有限公司。LTD.

新加坡

电子科学工业公司。

俄勒冈州

中国电工股份有限公司

俄勒冈州

ESI电子设备(上海)有限公司。

中国

ESI国际公司

俄勒冈州

ESI Japan,K.K.

日本

ESI韩国公司

韩国

ESI越南有限公司

越南

高Q激光有限公司

奥地利

微控制光谱-物理S.A.S.

法国

微创有限责任公司

特拉华州

MKS丹麦APS

丹麦

MKS德国控股有限公司

德国

墨尔本仪器(中国)有限公司

中国

MKS仪器(香港)有限公司

香港

MKS仪器(新加坡)私人有限公司LTD.

新加坡

德国MKS仪器有限公司

德国

MKS仪器公司ESI瑞士有限公司

瑞士

MKS仪器控股有限公司

英国

MKS仪器以色列有限公司。

以色列

MKS仪器意大利公司

意大利

MKS仪器墨西哥S.de R.L.de C.V.

墨西哥

MKS仪器英国有限公司

英国

MKS日本公司

日本

MKS韩国有限公司

韩国

美凯士光谱控股有限公司

英国

MKS台湾科技有限公司

台湾

纽波特公司

内华达州

纽波特仪器加拿大公司

加拿大

新港激光控股有限公司

奥地利

新港奥菲尔控股有限公司

以色列

纽波特光电技术(新加坡)有限公司。LTD.

新加坡

新港光电科技(无锡)有限公司

中国

Newport Spectra-物理B.V.

荷兰

纽波特光谱-物理有限公司

德国

纽波特光谱-物理有限公司

英国

欧菲尔日本有限公司

日本

奥菲尔光学公司

罗马尼亚

奥菲尔光电有限公司

以色列

奥菲尔光电解决方案有限公司。

以色列

Ophir Spircon欧洲有限公司

德国

奥菲尔-斯皮里康有限责任公司

犹他州

光子控制(美国)公司

特拉华州

光子控制公司。

加拿大

光谱-物理学,K.K.

日本

V-Gen Ltd.

以色列