附件16.1

2021年11月19日

证券交易委员会

东北大街100号F

华盛顿特区，20549

委员：

我们已经阅读了Amtech Systems，Inc.日期为2021年11月19日的8-K表格中的第4.01项，我们同意第4.01项中所述的与我公司有关的陈述。对于所有其他事项，我们没有理由同意或不同意注册人的声明。

非常真诚地属于你，

/s/迈耶·霍夫曼·麦肯(Mayer Hoffman McCann P.C.)

亚利桑那州凤凰城