附件3.1

Amtech Systems，Inc.

第一修正案

至

修订及重述附例

(2021年11月16日生效)

日期为2021年11月16日的亚利桑那州公司Amtech Systems，Inc.修订和重述的章程(下称“修订”)的第一次修订是对本公司修订和重订的章程(下称“章程”)进行修订，如下所述。

“第3.2节。特别会议。除法律另有规定外，为任何目的召开的股东特别大会可由本公司的董事会主席或行政总裁召开，并应过半数董事会成员或一名或多名本公司股票股份的记录持有人的书面要求，由董事会主席或秘书召开，该等股东大会合计不少于有权就拟提交建议的特别会议表决的一项或多项股票股份总数的百分之三十五(35%)，而董事会主席或秘书应以书面要求召开股东特别大会，而该等股东大会须由董事会主席或秘书以书面要求召开，或由一名或多名持有本公司股票股份的记录持有人以书面提出，总数不少于有权就拟议特别会议提出的一项或多项事宜表决的股票股份总数的百分之三十五(35%)。股东召开特别大会的要求须送交秘书，并须由要求召开特别会议的每名股东或该股东的正式授权代理人签署，并须附有一份通告，列明本附例第3.9节或第4.2节(视何者适用而定)所规定的有关拟于该特别大会上提交的任何提名及建议处理的任何其他事务以及要求召开特别大会的股东的资料。股东要求召开的特别会议应在董事会指定的日期、时间和地点举行(包括通过远程通信)，但任何该等特别会议的日期不得超过秘书收到一名或多名符合第3.2节要求的股东要求召开特别会议的日期后九十(90)天。尽管有上述规定，在下列情况下，股东要求召开的特别会议不得举行：(一)根据适用法律，将提交特别会议的陈述事项不是股东诉讼的适当标的, (Ii)提出要求的股东未能遵守交易所法案及其规则及规例的适用要求，或(Iii)董事会已召集或要求在秘书收到股东特别会议要求后九十(90)天内召开股东周年大会，董事会真诚地决定该年度会议的事务包括(及任何其他在股东周年大会前适当提出的事项)股东请求所指定的事务。(Iii)董事会在收到股东特别会议要求后九十(90)天内召开或要求召开股东周年大会，而董事会真诚地决定该年度会议的事务包括股东要求所指定的事务(以及任何其他提交股东要求的事项)，或(Iii)董事会已召集或要求在秘书收到特别会议要求后九十(90)天内召开股东周年大会。一个

股东可随时向秘书递交书面撤销申请，以撤销召开特别大会的要求，而在撤销申请后，如股东持有的股份总数少于股东有权要求召开特别大会所需的股份数目，则董事会可酌情取消该特别会议。如递交特别大会要求的股东均无出席或派合资格代表提出拟于特别大会上提出的提名或拟进行的其他业务，本公司无须在该等大会上提出该等提名或其他业务以供表决。在所有特别会议上处理的事务应仅限于特别会议通知中所述的事项。股东要求召开的特别会议上处理的事项，仅限于特别会议要求的事项，但本章程并不禁止董事会在股东要求的任何特别会议上向股东提交事项。特别会议主席须决定与会议进行有关的所有事宜，包括但不限于决定任何提名或其他事务项目是否已按照本附例妥为提交会议，而如主席如此决定并声明任何提名或其他事务项目并未妥为提交特别会议，则该等事务不得在该特别会议上处理。