附件32.1

Amtech Systems，Inc.及其子公司

根据以下条件进行认证

“美国法典”第18编第1350条，

根据

2002年萨班斯-奥克斯利法案第906节

关于Amtech Systems，Inc.(以下简称“公司”)于本报告日期提交给美国证券交易委员会(SEC)的截至2021年6月30日的10-Q表格季度报告(以下简称“报告”)，本人、本公司首席执行官Michael Wang根据2002年萨班斯-奥克斯利法案(Sarbanes-Oxley Act)第906节通过的“美国法典”第18编第1350条证明，据我所知：

(1)

该报告完全符合1934年证券交易法第13(A)或15(D)节的要求；以及

(2)

报告中包含的信息在所有重要方面都公平地反映了公司的财务状况和经营结果。

通过		/s/Michael Wang
		迈克尔·王(Michael Wang)
		首席执行官
		Amtech Systems，Inc.

日期：		2021年8月4日

上述证明是根据“美国法典”第18编第1350条提供的。它不是为了1934年证券交易法(修订后)第18条的目的而提交的，也不会通过引用将其纳入公司的任何文件中，无论该文件中的任何一般公司语言如何。