证物1.01

MKS仪器公司

冲突矿物报告

2017年12月31日终了年度收入

关于前瞻性声明的特别说明

本报告载有1995年“私人证券诉讼改革法”、经修正的1933年“证券法”第27A条和1934年“证券交易法”第21E节修正意义内的前瞻性陈述。这些前瞻性陈述反映了管理层当前的观点，并受到某些风险和 不确定性的影响，这些风险和不确定性可能导致实际结果与声明的结果大不相同。MKS不承担更新此信息的义务。风险和不确定因素包括但不限于在公司向证券交易委员会(SEC)提交的10-K表格年度报告中发现的题为“风险 因子”的章节中讨论的风险和不确定性。

冲突矿物规则概述

列入2017年12月31日终了年度的这份报告是为了遵守1934年“ 证券交易法”(“冲突矿物规则”)的规则13p-1，该法案是由SEC通过的，目的是按照“多德-弗兰克华尔街改革和消费者保护法”(“多德-弗兰克法”)的指示，执行与冲突矿物有关的报告和披露要求。“冲突矿物规则”规定，根据经修正的1934年“证券交易法”第13(A)条和第15(D)条向证券交易委员会提交报告的公司(一家上市公司)负有某些报告义务，其制造的产品含有对其产品的功能性或生产所必需的冲突矿物。冲突矿物被定义为金、钽铁矿石、锡石和黑钨矿，包括它们的衍生物：钽、锡和钨(冲突矿物)。

如果一家公共公司不能确定冲突矿物的来源不是刚果民主共和国或邻近国家(所涉国家)，或来自回收和废料来源，它们必须提交一份SD表，说明已完成的合理的原产地调查。

如果一家上市公司有理由相信其供应链中的任何冲突矿物可能起源于所涉国家， ，或者如果它无法确定这些冲突矿物的来源国，那么该公司必须对冲突矿物的来源和保管链进行尽职调查。该公司必须每年向证交会提交一份报告，报告 必须说明这些尽职调查措施(冲突矿物报告)。

本报告是由MKS仪器有限公司(简称MKS)管理部门编写的。这些信息包括MKS及其所有子公司的活动。

MKS成立于1961年，是一家全球性的仪器、子系统和过程控制解决方案供应商，这些解决方案用于测量、监测、交付、分析、驱动和控制先进制造过程的关键参数，以提高工艺性能和生产率。MKS产品源自其在压力 测量和控制、流量测量和控制、气体和蒸气输送、气体成分分析、残余气体分析、泄漏检测、控制技术、臭氧产生和输送、射频和直流电源、反应气体产生、{Br}真空技术、激光、光子学、亚微米定位、振动控制和光学等方面的核心能力。MKS还提供与其产品的维修、安装服务和 培训有关的服务。截至2017年12月31日，MKS雇用了4900多名员工。

MKS有两个可报告的部分-真空分析段和光和运动段。真空和分析部门提供了广泛的仪器、部件和子系统，它们来自我们在压力测量和控制、流量 测量和控制、气体和蒸汽输送、气体成分分析、残余气体分析、泄漏检测、控制技术、臭氧产生和输送、射频和直流功率、无功气体生成和真空技术等方面的核心能力。光和运动部分提供了广泛的仪器、部件和子系统，它们来自于我们在激光、光子学、亚微米定位、振动控制 和光学方面的核心能力。

MKS公司的产品组合包括20，000多种产品。我们根据产品功能、产品类型和制造过程的 相似性，将我们的产品分成六个产品组。这六大类产品是：分析和控制解决方案产品；电源、等离子体和反应气体解决方案产品；真空解决方案产品；光子学产品；{Br}光学产品；以及激光产品。分析和控制解决方案产品、电源、等离子体和反应气体溶液产品和真空溶液产品包括在真空和分析部分，光子学 产品、光学产品和激光产品包括在光和运动部分。

MKS产品广泛应用于不同的市场、应用和加工。我们的主要服务市场是半导体制造、工业技术、生命和健康科学以及研究和国防等资本设备的制造商。我们的销售很大一部分来自销售给半导体资本设备制造商和半导体设备制造商的产品。我们的产品用于主要的半导体加工步骤，如在硅衬底上沉积材料薄膜、蚀刻、清洗、光刻、计量学和检验。除半导体制造外，我们的产品还广泛应用于工业技术、生命健康科学以及研究和国防市场。工业技术包括玻璃涂层、激光标记、测量和划线、天然气和石油生产、环境监测和电子薄膜等多种应用。电子薄膜是许多电子产品的主要组成部分，包括平板显示器、发光二极管、太阳能电池和数据存储介质。我们在生命和健康科学领域的产品广泛应用于各种领域，包括生物成像、医疗器械灭菌、医疗设备制造、分析、诊断和外科器械、消耗品医疗用品制造和药品生产。此外，我们的产品出售给政府、大学和工业实验室，用于材料科学、物理化学、光子学、光学和电子材料的研究和开发。我们的产品还销售用于监测和防御应用，包括 监视，成像和基础设施保护。

除了某些金属生产线(如配件、法兰、镜片、某些 反射镜、油管等)外，MKS制造或签订制造合同的几乎所有产品都包括锡、黄金、钽和/或钨。因此，冲突矿物几乎出现在我们的所有产品中。

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供应链

有了如此广泛的产品组合，我们的供应链非常复杂。2017年，MKS及其子公司向全球3400多家供应商购买了供应品。除了与大量供应商打交道外，MKS还与多层供应商打交道。我们已经从开采冲突矿物以及冶炼和提炼原料 矿中移走了许多步骤。我们不购买原矿或未经提炼的冲突矿物，也不从被覆盖国家购买。我们也不直接从冶炼厂或精炼厂购买。冶炼厂和精炼厂在我们的供应链中处于最有利的位置，以了解矿石的来源。由于这些原因，映射我们的端到端供应链是极其繁重的。

为了遵守“冲突矿物规则”，我们依靠我们的直接供应商提供关于供应给我们的部件和材料中所载冲突矿物的来源的资料，包括从较低级别的供应商向它们供应的冲突矿物的来源。我们过去五年的外联工作概述如下：

尽管我们进行了真诚、合理的原籍国调查，但我们无法确定我们产品中所有冲突 矿物的来源，因此不能排除一些冲突可能起源于被覆盖国家的可能性。由于我们广泛的产品组合和供应链的复杂性，我们的许多 供应商将需要更多的时间来核实他们提供给我们的产品中冲突矿物的来源。我们继续与每一个供应商接触，而他们又继续与其供应商接触。我们希望，随着时间的增加，这些外联努力将使我们的供应链更加透明。由于这些原因，根据冲突矿物规则，我们必须向美国证交会提交一份冲突矿物报告，作为一个展览，以形成SD。本报告必须包括：

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根据经济合作与发展组织(Oecd)的指导原则和冲突矿物规则，本报告可在我们的website http：//www.mksinst.com/docs/ur/MKS-ConflictMineralsReport.pdf上查阅。

冲突矿物政策

我们通过了以下冲突矿物政策：

MKS冲突矿物政策

2012年，美国证券交易委员会(SEC)根据2010年“多德-弗兰克华尔街改革和消费者保护法”(“冲突矿物规则”)第1502条颁布了其最后规则，对上市公司在生产或合同制造产品时使用冲突矿物实施了新的披露和相关的供应链尽职调查要求。这项新规则的目标是制止刚果民主共和国境内的暴力冲突和侵犯人权行为。¹以及邻近的国家，这些国家的部分资金来自该区域冲突矿物的开采和贸易。

冲突矿物规则将冲突矿物定义为锡石(锡)、钽铌矿(钽)、黑钨矿(钨)、它们各自的衍生物和黄金(通常称为3T&G)。MKS是测量、控制、供电、监测和分析先进制造工艺关键参数的仪器、子系统和过程控制解决方案的全球供应商，在其产品的制造过程中使用了某些冲突矿物。MKS致力于查明其从刚果民主共和国地区从冲突来源获取冲突矿物的任何供应商。我们期望我们的供应商在这一努力中与我们合作，无论他们是否遵守新的冲突矿物规则，向我们提供所有必要的申报。我们还期望我们的供应商将这一要求转嫁给他们的供应链，如果他们不直接从冶炼厂采购，就会确定冲突矿物的来源。映射我们端到端由于MKS处理多层和大量供应商，因此供应链是非常繁重的 。然而，MKS致力于这一努力，如果MKS在任何时候发现其供应商正在从刚果民主共和国地区从冲突来源采购材料，MKS 将与供应商合作结束这一做法，如果供应商拒绝，MKS将努力确定另一供应商并与其合作。

如果您对MKS冲突矿物政策有任何疑问，请与我们联系，电话：冲突矿物_客户@mksinst.com.

我们的政策可在我们的网站at http：//www.mksinst.com/docs/ur/MKS-ConflictMinerals-Stmt.pdf上公开查阅。

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我们的尽职调查程序总体上符合经合组织“受冲突影响和高风险地区矿物负责任供应链的尽职调查指南”(经合组织指导方针)以及黄金、锡、钽和钨的相关补充文件。

我们的尽职调查程序包括：

如前所述，mks采用了一项公司政策，在我们的http：//www.mksinst.com/docs/ur/MKS-ConflictMinerals-Stmt.pdf网站上发布了 。

内部 小组

MKS已经建立了一个跨职能的团队，由我们的全球质量系统总监领导，他在我们复杂的供应链中有超过20年的工作经验。我们的团队还包括一位在化学和供应商管理方面有十年以上经验的化学家。该小组负责执行我们的冲突矿物遵守战略。向高级管理人员简要介绍了我们尽职调查的结果。

供应商参与

关于经合组织关于加强与供应商的接触的要求，我们已在可行的情况下与我们众多的供应商建立了长期关系。我们已向供应商通报了我们对冲突矿物规则的期望。此外，我们已将我们对冲突矿物政策和报告义务的期望纳入我们的供应商合同的条款和条件。

保存记录

我们开发了一个内部系统，记录我们的冲突矿物方案的执行、管理和监测情况。

由于我们的规模，我们的产品的复杂性，以及我们的供应链的深度和广度，很难从我们的直接供应商中找出上游的供应商。2017年，我们接触了超过3400家直接供应商，占我们供应商支出的99.5%。我们依赖这些供应商，他们的组件

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包含冲突矿物，向我们提供有关供应给我们的组件中冲突矿物来源的信息。我们的直接供应商也同样依赖其供应商提供的 信息。虽然我们确实收到了更多关于我们在2017年供应链中使用的冶炼厂/精炼厂的信息，但与2016年相比，我们的许多直接供应商和分销商：(I)提供了无法使用负责任的矿产保证流程保证冶炼厂和炼厂名单核实的 冶炼厂或精炼厂的名称；(Ii)尽管采取了后续行动，但仍未对我们的调查作出答复，(Iii)对我们的调查提供了不完整或不一致的信息，或(4)对我们的调查作了答复，信中通知我们，由于各种原因，他们不会完成调查，包括但 不限于：(A)缺乏资源；(B)在其产品中只包含极少量的冲突矿物；和(或)供应商本身不受冲突矿物规则的约束。一般来说，对这些供应商的跟进要求不会产生额外的信息，除非我们与某一特定供应商有杠杆关系，因为我们在该供应商的花费数额。还需要更多的时间来确定我们供应链中使用的所有冶炼厂/精炼厂。MKS计划继续努力，通过年度供应商调查和直接跟踪供应商参与，查明我们供应链中使用的所有冲突矿物冶炼厂/精炼厂。

MKS有一个风险管理计划 ，通过该计划执行、管理和监测冲突矿物方案。向高级管理层提供了这一风险评估的最新情况。

作为我们风险管理计划的一部分，为了确保供应商了解我们的期望，除了在我们的网站上公布的“冲突矿物政策”之外，我们还将我们对冲突矿物政策的期望纳入了我们供应商合同的条款和条件。我们还向我们的全球供应商分发了冲突矿物报告指示信和调查，这些供应商占我们2017年供应商支出的99.5%，并与那些调查答复不完整、不清楚或似乎错误的供应商单独接听电话和/或发送电子邮件，根据我们对从该供应商购买的材料的了解，这些供应商的答复是不完整的、不清楚的或似乎是错误的。

正如我们的冲突矿物政策所述，我们将与任何我们有理由相信是从可能支持刚果民主共和国或任何毗邻国家冲突的来源向我们提供冲突矿物的供应商合作，以结束这一做法，如果供应商拒绝，我们将努力查明不支持这种冲突的冲突矿物的替代供应商并与其合作。

我们与冲突矿物、冶炼厂和精炼厂没有直接关系，也没有在我们的供应链内对这些实体进行或直接审计。我们依靠由行业团体进行的审计，如负责任的业务联盟的“负责任的矿产计划”。

本报告可在http：//www.mksinst.com/docs/ur/MKS-ConflictMineralsReport.pdf网站上查阅。

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请求信息

我们使用EICC/GeSI模板(称为冲突矿物报告模板( 模板)对上述供应商进行了调查。开发该模板是为了便于披露和交流向公司的供应链提供材料的冶炼厂的信息。它包括关于一家公司的冲突矿物政策、与其直接供应商的接触以及该公司及其供应商使用的冶炼厂清单的问题。此外，该模板还载有关于其产品中所列冲突矿物的来源的问题。

调查答复

我们收到了来自大约51%的被调查供应商的回复，占我们被调查供应商支出的91%。我们根据制定的标准审查了答复，以确定哪些需要与我们的供应商进一步接触。绝大多数我们的 供应商提供了公司级别的数据(相对于产品级别)。在收到的许多答复中，(1)答复不完整，(或)模板中报告的数据不一致，(2)不知道 冶炼厂或精炼厂的身份。我们继续与这些供应商直接接触，以提供经修订或缺失的信息。因此，我们还不能核实我们供应链中所有的冶炼厂或精炼厂都被负责任的商业联盟认证为无冲突。

确定矿场或产地的努力

在我们的供应商调查中，我们要求我们的供应商确定在各自供应链中使用的冶炼厂或精炼厂。我们确定，在我们的供应链中寻求有关冲突矿物、冶炼厂和精炼厂的信息是我们能够作出的最合理的努力，以确定我们供应链中冲突矿物的矿藏或产地。根据MKS供应商在2017年提供的信息，表A包括我们供应链中使用的292家冶炼厂和精炼厂，它们被负责任的矿产倡议确认为Conformant，Active，或 已知。Conformant Conformant冶炼厂和精炼厂是那些经过第三方审计的冶炼厂和精炼厂，它们有确保只采购刚果民主共和国无冲突材料的系统，因此被确定为Conformant Conformant，与负责任的矿物联盟的流程一致。评估计划：已以书面形式同意提供信息并正在向第三方审计积极进展的直接冶炼厂。责任矿物倡议知道已知的冶炼厂和精炼厂，但目前未归类为Conformant或ACTIVE。MKS还收到了供应商的答复，其中包括1 581家冶炼厂{Br}和尚未由负责任的矿产倡议确认为冶炼厂或精炼厂的精炼厂。虽然我们确实收到了比2016年更可靠的2017年冶炼厂和精炼厂信息，但我们知道这份名单是不完整的，因为我们的几家供应商要么没有返回已完成的调查，要么返回了不包括冶炼厂或精炼厂名称的不完整调查。我们预计，随着时间的推移，更多上游供应商将能够更好地查明有关的 冶炼厂和精炼厂，进而将这一信息进一步传递到供应链上，从而使这份清单更加完整。

到目前为止，我们已获悉，我们的供应商查明的三家冶炼厂位于受保护的国家，但经过进一步的尽职调查，我们证实，所有这些冶炼厂都在负责的矿物保证过程中-众所周知的冶炼厂和炼钢厂名单上。我们不知道有任何其他情况，我们有理由相信我们的供应商正在从可能支持刚果民主共和国或任何毗邻国家冲突的来源向我们提供冲突矿物。

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我们打算在2018年采取下列步骤，以改进对我们供应链所进行的尽职调查：

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证物A